EDWARDS爱德华XDS系列真空泵
nXDS系列
nXDS6i、NXDS10i、nXDS15i、nXDS20i、nXDS35i
XDS系列
XDS5、XDS10、XDS46i、XDS100B、XDS35i
应用
分析仪器
电子扫描显微镜 - SEM
射束线和高能物理
涡轮分子前级泵
超高速离心机
覆层
低温学
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
凝胶体干燥
实验室工作台上真空
激光、气体回收和再循环
氦检漏仪
负载锁和传输腔
稀有气体再循环
稀有气体回收
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
SEM/FIB（离子束维修）
溶剂回收
表面科学仪器
功能和优势
· 轴承屏蔽
完全清洁和干燥的真空
真空空间中没有轴承或油脂
无轴封，无轴承清洗
简单的单侧滚轴设计
更换顶封口仅需 20 分钟
无需特殊工具
· 气囊位置可选
无永久气囊泄漏
水蒸汽处理量大
· 所有泵产品均经外部机构检验，符合 EN61010、CSA C22.2 1010、UL 61010 标准
可以轻松地将泵整合到已认可的系统中，产品安全可靠
· 按照
ISO 9001 标准制造
高质量产品
· 按照 ISO 14001 标准制造
制程环保
技术数据
排量
50Hz
11.3 m3h-1 / 6.7 ft3min-1
60Hz
13.4 m3h-1 / 7.9 ft3min-1
峰值抽速1
50Hz
9.3 m3h-1 / 5.5 ft3min-1
60 Hz
11.1 m3h-1 / 6.5 ft3min-1
极限真空（总压力）
50Hz
7 x 10-2 mbar/5.3 x 10-2 Torr
60 Hz
6 x 10-2 mbar / 4.5 x 10-2 Torr
水蒸汽的最大进气口压力
35 mbar/23 Torr
最大水蒸汽抽速 – GB I
70 gh-1
最大水蒸汽抽速 – GB II
200 gh-1
允许的最大出口压力
1 bar 表压/14 psig
允许的最大进气口和气镇压力
0.5 bar 表压/7 psig
电机功率（1 相和 3 相）
0.3kW
电源连接器（1 相）
IEC EN60320 C13
标称旋转速度 50/60 Hz
1500/1800 rpm
重量
24.5 kg/54 lb
入口法兰
NW25
排气口法兰
NW25
噪音级别
50 Hz 时 55 dBA
振动
<4.5 mms-1 (rms)
密封性（静态）
<1 x 10-6 mbar ls-1
工作温度范围
10 至 40 °C/50 至 104 °F
